今天小編為大家?guī)硪黄P(guān)于晶圓級(jí)WLP微球植球后清洗與WLP微球植球技術(shù)工藝介紹~
晶圓級(jí)封裝(Wafer Lever Package,WLP)是以BGA技術(shù)為基礎(chǔ),將百微米級(jí)的焊錫球放置到刻好電路的晶圓上,是一種經(jīng)過改進(jìn)和提高的CSP。WLP封裝具有較小封裝尺寸與較佳電性表現(xiàn)的優(yōu)勢,目前多應(yīng)用于輕薄短小的消費(fèi)性IC的封裝應(yīng)用。
一、 WLP封裝工藝:
晶圓級(jí)封裝,是屬于芯片尺寸封裝(CSP)的一種。所謂芯片尺寸封裝是當(dāng)芯片(Die)封裝完畢后,其所占的面積小于芯片面積的120%。晶圓級(jí)封裝與傳統(tǒng)封裝工藝不同,傳統(tǒng)封裝將芯片上壓點(diǎn)和基座上標(biāo)準(zhǔn)壓點(diǎn)連接的集成電路封裝都是在由晶圓上分離出來的芯片上進(jìn)行的,這種工藝造成了前端晶圓制造工藝與用于生產(chǎn)z終集成電路的后端裝配和封裝的自然分離。晶圓級(jí)封裝是在在完成封裝和測試后,才將晶圓按照每一個(gè)芯片的大小來進(jìn)行切割,統(tǒng)一前端和后端工藝以減少工藝步驟,封裝后的體積與IC裸芯片尺寸幾乎相同,能大幅降低封裝后的IC尺寸,是真正意義上的芯片尺寸封裝。一片12inch的晶圓上一般有750~1500個(gè)裸片,與單個(gè)芯片封裝相比,每個(gè)裸片的封裝成本可以降低一個(gè)數(shù)量級(jí)。晶圓級(jí)芯片封裝工藝流程如圖1所示。
二、WLP植球技術(shù):
晶圓級(jí)封裝采用凸點(diǎn)技術(shù)(Bumping)作為其I/O電極,晶圓上形成凸點(diǎn)有三種方式:電鍍方式、印刷錫膏方式和植球方式,三種方式的比較如表1所示。
鑒于電鍍方式和印刷錫膏方式的缺點(diǎn),業(yè)界一直在尋找替代解決方案,晶圓級(jí)植球技術(shù)的突破恰好滿足了這一需求,并且隨著多層堆疊技術(shù)(MCM)的發(fā)展,要求晶圓與晶圓間具有高精度的多引腳的100um級(jí)的互聯(lián),晶圓級(jí)植球技術(shù)可以穩(wěn)定地實(shí)現(xiàn)。
下面分析晶圓級(jí)微球植球機(jī)工作過程:
1)上料機(jī)械手對晶圓盒(Cassette)中的晶圓進(jìn)行檢測(Mapping);
2)將晶圓取出放置到晶圓預(yù)對位裝置(Aligner)上進(jìn)行對位;
3)然后機(jī)械手將晶圓放置于X-Y-Z-θ植球平臺(tái)上;
4 )利 用超 精密 金屬 模板 印刷 技術(shù) 將助 焊劑(Flux)涂敷在晶圓的焊盤上;
5)利用金屬模板植球技術(shù)手動(dòng)或自動(dòng)將焊錫球放置于晶圓上;
6)z后將植球后的晶圓收回晶圓盒。
三、先進(jìn)封裝-晶圓級(jí)WLP微球植球后清洗:
先進(jìn)封裝產(chǎn)品芯片焊后封裝前,基板載板焊盤上的污染物有多種,可歸納為離子型和非離子型兩大類。離子型污染物接觸到環(huán)境中的濕氣,通電后發(fā)生電化學(xué)遷移,形成樹枝狀結(jié)構(gòu)體,造成低電阻通路,破壞了電路板功能。非離子型污染物可穿透PC B 的絕緣層,在PCB板表層下生長枝晶。除了離子型和非離子型污染物,還有粒狀污染物,例如焊料球、焊料槽內(nèi)的浮點(diǎn)、灰塵、塵埃等,這些污染物會(huì)導(dǎo)致焊點(diǎn)質(zhì)量降低、焊接時(shí)焊點(diǎn)拉尖、產(chǎn)生氣孔、短路等等多種不良現(xiàn)象。
這么多污染物,到底哪些才是z備受關(guān)注的呢?助焊劑或錫膏普遍應(yīng)用于回流焊和波峰焊工藝中,它們主要由溶劑、潤濕劑、樹脂、緩蝕劑和活化劑等多種成分,焊后必然存在熱改性生成物,這些物質(zhì)在所有污染物中的占據(jù)主導(dǎo),從產(chǎn)品失效情況來而言,焊后殘余物是影響產(chǎn)品質(zhì)量z主要的影響因素,離子型殘留物易引起電遷移使絕緣電阻下降,松香樹脂殘留物易吸附灰塵或雜質(zhì)引發(fā)接觸電阻增大,嚴(yán)重者導(dǎo)致開路失效,因此焊后必須進(jìn)行嚴(yán)格的清洗,才能保障電路板的質(zhì)量。
針對先進(jìn)封裝產(chǎn)品芯片焊后封裝前,基板載板焊盤、電子制程精密焊后清洗的不同要求,合明科技在水基清洗方面有比較豐富的經(jīng)驗(yàn),對于有著低表面張力、低離子殘留、配合不同清洗工藝使用的情況,自主開發(fā)了較為完整的水基系列產(chǎn)品,精細(xì)化對應(yīng)涵蓋從半導(dǎo)體封裝到PCBA組件終端,包括有水基清洗劑和半水基清洗劑,堿性水基清洗劑和中性水基清洗劑等。具體表現(xiàn)在,在同等的清洗力的情況下,合明科技的兼容性較佳,兼容的材料更為廣泛;在同等的兼容性下,合明科技的清洗劑清洗的錫膏種類更多(測試過的錫膏品種有ALPHA、SMIC、INDIUM、SUPER-FLEX、URA、TONGFANG、JISSYU、HANDA、OFT、WTO等品牌;測試過的焊料合金包括SAC305、SAC307、6337、925等不同成分),清洗速度更快,離子殘留低、干凈度更好。
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