一、概述

    SR-C 緊湊型高精度反射膜厚儀，利用光學干涉原理，通過分析薄膜表面反射光和薄膜與基底界面反射光相干涉形成的反射光譜，快速準確測量薄膜厚度、光學常數(shù)等信息。

■ 光學薄膜測量解決方案；

■ 非接觸、非破壞測量；

■ 核心算法支持薄膜到厚膜、單層到多層薄膜分析；

■ 是膜厚重復性測量精度：0.02nm

■ 配置靈活、支持定制化

二、產(chǎn)品特點

■ 采用高強度鹵素燈光源，光譜覆蓋深紫外到近紅外范圍；

■ 采用光機電高度整合一體化設(shè)計，體積小，操作簡便；

■ 基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理，輕松解析單層薄膜到多層；

■ 配置強大核心分析算法：FFT分析厚膜、曲線擬合分析法分析薄膜的物理參數(shù)信息；

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