高亮度鹵素?zé)舭雽?dǎo)體晶圓光源YAMADA/日本YP-150I
高亮度鹵素?zé)舭雽?dǎo)體晶圓光源YAMADA/日本YP-150I
1、可照亮樣品表面400,000Lx以上。
2、光源采用鹵素?zé)?,色溫高,照度不均小,光線極其穩(wěn)定銳利。
3、采用冷鏡,熱量的影響極大地降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3。
4、兩級切換機(jī)構(gòu),一鍵實現(xiàn)高照度觀察和低照度觀察。
YP-150I 照度范圍:30mmφ
YP-250I 照度范圍:60mmφ
超精密平面檢測的理想選擇!通過驚人的照明,可以檢測小于 0.2 μm 的缺陷。
YP-150I”是一種用于顯微觀察的照明裝置,用于檢測
【金蝴蝶】終成品表面上的各種缺陷,如異物、劃痕、拋光不均勻、霧度、滑移等,是半導(dǎo)體加工過程中勞動強(qiáng)度的一種。晶圓和液晶板
另外,由于采用鹵素?zé)糇鳛楣庠矗珳馗撸?/span>
光照不均勻的情況很少,光照***穩(wěn)定銳利。
姊妹機(jī)“YP-250I”也可用于 8 英寸。
光源采用鹵素?zé)?/span>
■ 可以將樣品表面照射到400,000 Lx或更高
■ 熱量的影響降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3
■ 高照度觀察和低照度觀察可一鍵切換
請用于超精密平面檢測!
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