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水基清洗劑廠家為您分享:半導(dǎo)體設(shè)備及相關(guān)企業(yè)匯總

發(fā)布日期:2023-03-16 15:42:43     來源:水基清洗劑廠家     作者:合明科技     瀏覽次數(shù):104
核心提示:水基清洗劑廠家為您分享:半導(dǎo)體設(shè)備及企業(yè)匯總,半導(dǎo)體設(shè)備包括單晶爐、氣相外延爐、分子束外延系統(tǒng)、氧化爐、低壓化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)、磁控濺射臺(tái)、化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)、光刻機(jī)、反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)、ICP等離子體刻蝕系統(tǒng)、離子注入機(jī)等17項(xiàng)設(shè)備。

水基清洗劑廠家為您分享:半導(dǎo)體設(shè)備及企業(yè)匯總

水基清洗劑廠家:隨著我國(guó)華為公司被某國(guó)的打壓封鎖,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的緊迫感越來越強(qiáng),而半導(dǎo)體工藝設(shè)備則為半導(dǎo)體大規(guī)模制造提供制造基礎(chǔ),今天小編為大家整理了一篇半導(dǎo)體設(shè)備及企業(yè)匯總供大家參考:

1、單晶爐

設(shè)備名稱:?jiǎn)尉t。

設(shè)備功能:熔融半導(dǎo)體材料,拉單晶,為后續(xù)半導(dǎo)體器件制造,提供單晶體的半導(dǎo)體晶坯。

主要企業(yè)(品牌):

國(guó)際:德國(guó)PVA TePla AG公司、日本Ferrotec公司、美國(guó)QUANTUM DESIGN公司、德國(guó)Gero公司、美國(guó)KAYEX公司。

國(guó)內(nèi):西安理工晶科、常州華盛天龍、上海漢虹、西安華德、上海申和熱磁、上虞晶盛、晉江耐特克、寧夏晶陽、常州江南、沈陽科儀公司。

2、氣相外延爐

設(shè)備名稱:氣相外延爐。

設(shè)備功能:為氣相外延生長(zhǎng)提供特定的工藝環(huán)境,實(shí)現(xiàn)在單晶上,生長(zhǎng)與單晶晶相具有對(duì)應(yīng)關(guān)系的薄層晶體,為單晶沉底實(shí)現(xiàn)功能化做基礎(chǔ)準(zhǔn)備。氣相外延即化學(xué)氣相沉積的一種特殊工藝,其生長(zhǎng)薄層的晶體結(jié)構(gòu)是單晶襯底的延續(xù),而且與襯底的晶向保持對(duì)應(yīng)的關(guān)系。

主要企業(yè)(品牌):

國(guó)際:美國(guó)CVD Equipment公司、美國(guó)GT公司、法國(guó)Soitec公司、法國(guó)AS公司、美國(guó)ProtoFlex公司、美國(guó)科特·萊思科(Kurt J.Lesker)公司、美國(guó)Applied Materials公司。

國(guó)內(nèi):中國(guó)電子科技集團(tuán)第四十八所、青島賽瑞達(dá)、合肥科晶材料技術(shù)有限公司、北京金盛微納、濟(jì)南力冠電子科技有限公司。

3、分子束外延系統(tǒng)

設(shè)備名稱:分子束外延系統(tǒng)。

設(shè)備功能:分子束外延系統(tǒng),提供在沉底表面按特定生長(zhǎng)薄膜的工藝設(shè)備;分子束外延工藝,是一種制備單晶薄膜的技術(shù),它是在適當(dāng)?shù)囊r底與合適的條件下,沿襯底材料晶軸方向逐層生長(zhǎng)薄膜。

主要企業(yè)(品牌):

國(guó)際:法國(guó)Riber公司、美國(guó)Veeco公司、芬蘭DCA Instruments公司、美國(guó)SVTAssociates公司、美國(guó)NBM公司、德國(guó)Omicron公司、德國(guó)MBE-Komponenten公司、英國(guó)Oxford Applied Research(OAR)公司。

國(guó)內(nèi):沈陽中科儀器、北京匯德信科技有限公司、紹興匡泰儀器設(shè)備有限公司、沈陽科友真空技術(shù)有限公司。

4、氧化爐

設(shè)備名稱:氧化爐。

設(shè)備功能:為半導(dǎo)體材料進(jìn)行氧化處理,提供要求的氧化氛圍,實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體預(yù)期設(shè)計(jì)的氧化處理過程,是半導(dǎo)體加工過程的不可缺少的一個(gè)環(huán)節(jié)。主要企業(yè)(品牌):

國(guó)際:英國(guó)Thermco公司、德國(guó)Centrothermthermal solutions GmbH Co.KG公司。

國(guó)內(nèi):北京七星華創(chuàng)、青島福潤(rùn)德、中國(guó)電子科技集團(tuán)第四十八所、青島旭光儀表設(shè)備有限公司、中國(guó)電子科技集團(tuán)第四十五所。

5、低壓化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)

設(shè)備名稱:低壓化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)

設(shè)備功能:把含有構(gòu)成薄膜元素的氣態(tài)反應(yīng)劑或液態(tài)反應(yīng)劑的蒸氣及反應(yīng)所需其它氣體引入LPCVD設(shè)備的反應(yīng)室,在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成薄膜。

主要企業(yè)(品牌):

國(guó)際:日本日立國(guó)際電氣公司、

國(guó)內(nèi):上海馳艦半導(dǎo)體科技有限公司、中國(guó)電子科技集團(tuán)第四十八所、中國(guó)電子科技集團(tuán)第四十五所、北京儀器廠、上海機(jī)械廠。

6、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)

設(shè)備名稱:等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)

設(shè)備功能:在沉積室利用輝光放電,使其電離后在襯底上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng),沉積半導(dǎo)體薄膜材料。

主要企業(yè)(品牌):

國(guó)際:美國(guó)Proto Flex公司、日本Tokki公司、日本島津公司、美國(guó)泛林半導(dǎo)體(Lam Research)公司、荷蘭ASM國(guó)際公司。

國(guó)內(nèi):中國(guó)電子科技集團(tuán)第四十五所、北京儀器廠、上海機(jī)械廠。

7、磁控濺射臺(tái)

設(shè)備名稱:磁控濺射臺(tái)。

設(shè)備功能:通過二極濺射中一個(gè)平行于靶表面的封閉磁場(chǎng),和靶表面上形成的正交電磁場(chǎng),把二次電子束縛在靶表面特定區(qū)域,實(shí)現(xiàn)高離子密度和高能量的電離,把靶原子或分子高速率濺射沉積在基片上形成薄膜。

主要企業(yè)(品牌):

國(guó)際:美國(guó)PVD公司、美國(guó)Vaportech公司、美國(guó)AMAT公司、荷蘭Hauzer公司、英國(guó)Teer公司、瑞士Platit公司、瑞士Balzers公司、德國(guó)Cemecon公司。

國(guó)內(nèi):北京儀器廠、沈陽中科儀器、成都南光實(shí)業(yè)股份有限公司、中國(guó)電子科技集團(tuán)第四十八所、科睿設(shè)備有限公司、上海機(jī)械廠。

8、化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)

設(shè)備名稱:化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)

設(shè)備功能:通過機(jī)械研磨和化學(xué)液體溶解“腐蝕”的綜合作用,對(duì)被研磨體(半導(dǎo)體)進(jìn)行研磨拋光。

主要企業(yè)(品牌):國(guó)際:美國(guó)Applied Materials公司、美國(guó)諾發(fā)系統(tǒng)公司、美國(guó)Rtec公司。

國(guó)內(nèi):蘭州蘭新高科技產(chǎn)業(yè)股份有限公司、愛立特微電子。

9、光刻機(jī)

設(shè)備名稱:光刻機(jī)。

設(shè)備功能:在半導(dǎo)體基材上(硅片)表面勻膠,將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上,把器件或電路結(jié)構(gòu)臨時(shí)“復(fù)制”到硅片上。

主要企業(yè)(品牌):

國(guó)際:荷蘭阿斯麥(ASML)公司、美國(guó)泛林半導(dǎo)體公司、日本尼康公司、日本Canon公司、美國(guó)ABM公司、德國(guó)德國(guó)SUSS公司、美國(guó)MYCRO公司。

國(guó)內(nèi):中國(guó)電子科技集團(tuán)第四十八所、中國(guó)電子科技集團(tuán)第四十五所、上海機(jī)械廠、成都南光實(shí)業(yè)股份有限公司。

10、反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)

設(shè)備名稱:反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)。

設(shè)備功能:。平板電極間施加高頻電壓,產(chǎn)生數(shù)百微米厚的離子層,放入式樣,離子高速撞擊式樣,實(shí)現(xiàn)化學(xué)反應(yīng)刻蝕和物理撞擊,實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體的加工成型。

主要企業(yè)(品牌):

國(guó)際:日本Evatech公司、美國(guó)NANOMASTER公司、新加坡REC公司、韓國(guó)JuSung公司、韓國(guó)TES公司。

國(guó)內(nèi):北京儀器廠、北京七星華創(chuàng)電子有限公司、成都南光實(shí)業(yè)股份有限公司、中國(guó)電子科技集團(tuán)第四十八所。

11、ICP等離子體刻蝕系統(tǒng)

設(shè)備名稱:ICP等離子體刻蝕系統(tǒng)。

設(shè)備功能:一種或多種氣體原子或分子混合于反應(yīng)腔室中,在外部能量作用下(如射頻、微波等)形成等離子體,一方面等離子體中的活性基團(tuán)與待刻蝕表面材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成可揮發(fā)產(chǎn)物;另一方面等離子體中的離子在偏壓的作用下被引導(dǎo)和加速,實(shí)現(xiàn)對(duì)待刻蝕表面進(jìn)行定向的腐蝕和加速腐蝕。

主要企業(yè)(品牌):

國(guó)際:英國(guó)牛津儀器公司、美國(guó)Torr公司、美國(guó)Gatan公司、英國(guó)Quorum公司、美國(guó)利曼公司、美國(guó)Pelco公司。

國(guó)內(nèi):北京儀器廠、北京七星華創(chuàng)電子有限公司、中國(guó)電子科技集團(tuán)第四十八所、戈德爾等離子科技(香港)控股有限公司、中/國(guó)/科/學(xué)/院微電子研究所、北方微電子、北京東方中科集成科技股份有限公司、北京創(chuàng)世威納科技。

12、離子注入機(jī)

設(shè)備名稱:離子注入機(jī)。

設(shè)備功能:對(duì)半導(dǎo)體表面附近區(qū)域進(jìn)行摻雜。

主要企業(yè)(品牌):

國(guó)際:美國(guó)維利安半導(dǎo)體設(shè)備公司、美國(guó)CHA公司、美國(guó)AMAT公司、Varian半導(dǎo)體制造設(shè)備公司(被AMAT收購)。

國(guó)內(nèi):北京儀器廠、中國(guó)電子科技集團(tuán)第四十八所、成都南光實(shí)業(yè)股份有限公司、沈陽方基輕工機(jī)械有限公司、上海硅拓微電子有限公司。

13、濕法腐蝕刻蝕機(jī)

設(shè)備名稱:濕法腐蝕刻蝕機(jī)

設(shè)備功能:通過化學(xué)刻蝕液和被刻蝕物質(zhì)之間的化學(xué)反應(yīng)將被刻蝕物質(zhì)剝離下來的刻蝕方法。大多數(shù)濕法刻蝕是不容易控制的各向同性刻蝕。

主要企業(yè)(品牌):

國(guó)際:英國(guó)牛津儀器公司、美國(guó)Torr公司、美國(guó)Gatan公司、英國(guó)Quorum公司、美國(guó)利曼公司、美國(guó)Pelco公司。

國(guó)內(nèi):中/國(guó)/科/學(xué)/院微電子研究所、蘇州華林科納半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司、中國(guó)電子科技集團(tuán)第四十八所。

14、探針測(cè)試臺(tái)

設(shè)備名稱:探針測(cè)試臺(tái)。

設(shè)備功能:通過探針與半導(dǎo)體器件的pad接觸,進(jìn)行電學(xué)測(cè)試,檢測(cè)半導(dǎo)體的性能指標(biāo)是否符合設(shè)計(jì)性能要求。

主要企業(yè)(品牌):

國(guó)際:德國(guó)Ingun公司、美國(guó)QA公司、美國(guó)MicroXact公司、韓國(guó)Ecopia公司、韓國(guó)Leeno公司。

國(guó)內(nèi):中國(guó)電子科技集團(tuán)第四十五所、北京七星華創(chuàng)電子有限公司、瑞柯儀器、華榮集團(tuán)、深圳市森美協(xié)爾科技。

15、晶片減薄機(jī)

設(shè)備名稱:晶片減薄機(jī)。

設(shè)備功能:通過拋磨,把晶片厚度減薄。

主要企業(yè)(品牌):

國(guó)際:日本DISCO公司、德國(guó)G&N公司、日本OKAMOTO公司、以色列Camtek公司。

國(guó)內(nèi):蘭州蘭新高科技產(chǎn)業(yè)股份有限公司、深圳方達(dá)研磨設(shè)備制造有限公司、深圳市金實(shí)力精密研磨機(jī)器制造有限公司、煒安達(dá)研磨設(shè)備有限公司、深圳市華年風(fēng)科技有限公司。

16、晶圓劃片機(jī)

設(shè)備名稱:晶圓劃片機(jī)。

設(shè)備功能:把晶圓,切割成小片的Die。

主要企業(yè)(品牌):

國(guó)際:德國(guó)OEG公司、日本DISCO公司。

國(guó)際:北京科創(chuàng)源光電技術(shù)有限公司、沈陽儀器儀表工藝研究所、西北機(jī)器有限公司(原國(guó)營(yíng)西北機(jī)械廠709廠)、中國(guó)電子科技集團(tuán)第四十五所、匯盛電子電子機(jī)械設(shè)備公司、蘭州蘭新高科技產(chǎn)業(yè)股份有限公司、大族激光、深圳市紅寶石激光設(shè)備有限公司、武漢三工、珠海萊聯(lián)光電、珠海粵茂科技。

17、引線鍵合機(jī)

設(shè)備名稱:引線鍵合機(jī)。

設(shè)備功能:把半導(dǎo)體芯片上的Pad與管腳上的Pad,用導(dǎo)電金屬線(金絲)鏈接起來。

主要企業(yè)(品牌):

國(guó)際:美國(guó)奧泰公司、德國(guó)TPT公司、奧地利奧地利FK公司、馬來西亞友尼森(UNISEM)公司。

國(guó)內(nèi):中國(guó)電子科技集團(tuán)第四十五所、北京創(chuàng)世杰科技發(fā)展有限公司、宇芯(成都)集成電路封裝測(cè)試有限公司

以上就是半導(dǎo)體設(shè)備功能及相關(guān)企業(yè)匯總希望能對(duì)您有所幫助!

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